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真空鍍膜設(shè)備的產(chǎn)品特點
日期：2025-04-29 12:06
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摘要：
真空鍍膜設(shè)備，主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。
產(chǎn)品特點
采用箱式結(jié)構(gòu)，真空系統(tǒng)后置，便于操作和維修；整機表面平整，方便清潔，特別適合放置在凈化間內(nèi)做穿墻式安裝。
設(shè)備真空系統(tǒng)抽速大，具有抽氣時間短，真空度高，生產(chǎn)周期短等優(yōu)點。
采用管狀加熱器上烘烤，烘烤溫度均勻，壽命長，可達到烘烤溫度350℃，烘烤均勻性270℃±10℃。
工件轉(zhuǎn)動采用上部中心驅(qū)動，軸承帶水冷，磁流體密封，轉(zhuǎn)動平穩(wěn)。
采用石英晶體膜厚控制儀，可實現(xiàn)鍍膜過程的自動控制。
