- 磁控濺射鍍膜儀
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- 環(huán)境模擬試驗(yàn)設(shè)備
- 實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)品配件
- 實(shí)驗(yàn)室鍍膜耗材
- 其他產(chǎn)品
一、設(shè)備性能：
六源蒸發(fā)鍍膜儀以金屬/有機(jī)源蒸發(fā)為主體，適用于實(shí)驗(yàn)室制備金屬單質(zhì)、氧化物、介電質(zhì)、半導(dǎo)體膜等，也可用作教學(xué)及生產(chǎn)線前期工藝試驗(yàn)等，整套設(shè)備操作簡便，綜合功能多，擴(kuò)展空間大，適合及滿足大專院校的教學(xué)與科研工作。
二、設(shè)備基本結(jié)構(gòu)：
鍍膜設(shè)備由真空室腔體，金屬/有機(jī)源系統(tǒng)，樣品臺系統(tǒng)，真空泵機(jī)組，膜厚檢測系統(tǒng)，設(shè)備機(jī)架，電控系統(tǒng)組成，真空室前門可與手套箱對接，采用一體化的設(shè)計(jì)方案，整套設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊、布局簡潔，避免實(shí)驗(yàn)設(shè)備外觀凌亂的現(xiàn)象。
適應(yīng)領(lǐng)域：
適用于制備金屬電極、鈣鈦礦太陽能電池、OLED、半導(dǎo)體薄膜、氧化物薄膜、有機(jī)薄膜等，可用于科研單位進(jìn)行新材料、新工藝薄膜研究工作，也可用于于小批量及中試生產(chǎn)或大批量生產(chǎn)前的試驗(yàn)工作。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
設(shè)備兼容有機(jī)/無機(jī)蒸發(fā),可實(shí)現(xiàn)多元分蒸或共蒸獲得多層膜、復(fù)合膜，性能穩(wěn)定，尤其溫控有機(jī)蒸發(fā)源不僅角度可調(diào)，均勻性好，同時可通過進(jìn)口膜厚儀聯(lián)動控制實(shí)現(xiàn)速率**控制、摻雜；樣品臺可升降調(diào)整源-基片距離，有效節(jié)約貴重材料，降低實(shí)驗(yàn)成本；ATTO10全自動高真空電阻蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)采用windows操作平臺和cotrl2000控制系統(tǒng)，采用IPC+network技術(shù)，實(shí)現(xiàn)整機(jī)主要部件的參數(shù)化設(shè)置、實(shí)施實(shí)時監(jiān)控及故障智能診斷以及膜厚全自動監(jiān)控，有自動和手動控制兩種模式。除取放樣品外，其它操作過程全部在PC上使用軟件控制；提供真空系統(tǒng)、工藝設(shè)置、充放氣系統(tǒng)等友好人機(jī)操作界面；在工控機(jī)上可通過配方設(shè)置參數(shù)，實(shí)現(xiàn)對程序工藝過程和設(shè)備參數(shù)的設(shè)置、儲存和打印。
膜厚全自動監(jiān)控系統(tǒng)，自動設(shè)計(jì)、工藝讀入、參數(shù)設(shè)置、實(shí)時監(jiān)控等功能，實(shí)現(xiàn)整個鍍膜過程的全自動控制?？梢栽O(shè)置數(shù)十層甚至上百層的膜層控制，簡單實(shí)現(xiàn)單層或多層共蒸。
三、設(shè)備技術(shù)指標(biāo)：
產(chǎn)品名稱
帶手套箱六源蒸發(fā)鍍膜儀
產(chǎn)品型號
CY-EVH400-Ⅵ-HHHOOOO-SS-STX
真空室腔體
外形
上等 304 不銹鋼 D 形真空室腔體 1 套，真空室內(nèi)部尺寸 D400*480mm，前后雙開門，后門采用鉸鏈?zhǔn)椒介T，方便清洗真空腔體，真空室內(nèi)部調(diào)試，維修以及取放物品，前門采用橫拉方門，前后門各配 DN100 視窗 1 套；
底部
金屬源接口 2 套，有機(jī)源接口 4 套， 復(fù)合分子泵接口 1 套，CF25照明接口 2 套以及膜厚探頭接口 3 套；
頂部
樣品臺接口 1 套，電動擋板接口 1 套，高真空氣動擋板閥接口 1 套
左側(cè)
超高真空氣動擋板閥接口 1 套
金屬/有機(jī)源系統(tǒng)
金屬蒸發(fā)源
金屬蒸發(fā)源 2 套:水冷銅電極 2 組，兼容蒸發(fā)舟（鎢、鉬和鉭舟）和螺旋絲，配氣動擋板，1KW 直流恒流電源 1 臺（數(shù)字顯示），電流調(diào)整精度 1A（微調(diào)），功率滿足常見的金屬以及金屬氧化物的蒸鍍；
有機(jī)蒸發(fā)源 4 套
有機(jī)蒸發(fā)源 4 套:4CC（4ml） 石英舟，溫控電源 2 臺（溫控表顯示精度 0.1℃），溫度區(qū)間：室溫-500℃（控溫精度±1℃），配氣動擋板；
隔板
蒸發(fā)源相互獨(dú)立，隔板分隔，避免交叉污
樣品臺系統(tǒng)
基片旋轉(zhuǎn)
轉(zhuǎn)速 0～30 轉(zhuǎn)／分連續(xù)可調(diào)
基片升降
電動升降，襯底與蒸發(fā)源間距 200-300mm 通過觸摸屏連續(xù)可調(diào)；
樣品臺
圓形托盤 1 套，一次可放置8片20×20mm 基片
基片擋板
電動擋板
真空泵機(jī)組
1) 600L/s分子泵 1 臺；
2) 8L/s雙級泵 1 臺
3) CF150 氣動超高真空插板閥 1 臺；
4) CF40 超高真空氣動擋板閥 1 臺；
5) KF16 高真空氣動擋板閥 1 臺；
6) KF40 高真空氣動擋板閥 1 臺；
7) KF40 真空電磁充氣閥 1 臺；
8) KF40 泵閥連接軟管 2 套，KF40 三通 1 套；
膜厚檢測系統(tǒng)
膜厚儀
三通道石英晶振膜厚監(jiān)測儀 1 套；
膜厚探頭
CF35 水冷膜厚探頭 3 套
設(shè)備機(jī)架
1) 40 碳鋼方管焊接機(jī)架 1 套，表面噴塑；
2) 萬向輪 4 件，移動調(diào)整；
3) M16 地腳 4 件，鎖緊定位
電控系統(tǒng)
金屬源蒸發(fā)源氣動擋板
2套
金屬蒸發(fā)源電源1kw
1套
有機(jī)源蒸發(fā)源氣動擋板
4套
有機(jī)蒸發(fā)源電源
2套（1帶2）
烘烤照明電源
1 臺
樣品臺電動擋板
1套
總控制電源
1套
PLC 控制
配觸摸屏
手套箱
腔體尺寸
L1200* W750* H900mm
手套
3只
大過渡艙
內(nèi)徑360mm, 長 600mm
小過渡艙
內(nèi)徑150mm, 長300mm
其他技術(shù)參數(shù)
1) 缺相保護(hù)、誤操作保護(hù)，聯(lián)動互鎖以及一鍵真空啟停等功能；
2) 供電：～220V 兩相供電系統(tǒng)（峰值 3KW）；
3) 供水：小型冷水機(jī)，冷卻水溫度 5℃～35℃，工作環(huán)境溫度：10℃～40℃；
4) 供氣：小型無油靜音氣泵，提供 0.2-0.3MPa 氣壓，驅(qū)動氣動閥門；
5) 極限真空：優(yōu)于 6×10-5Pa，大氣至 6×10-4Pa 時間小于 35 分鐘（充干燥氮?dú)猓?，關(guān)機(jī)
12 小時真空度≤10Pa。
9) ZDF-5227 數(shù)顯真空計(jì) 1 臺（測量范圍：1×105～1×10-5Pa）。
